האתגרים שבמציאת פגמים על פרוסות סיליקון כתוצאה מהתפשטות תרמית

Posted by  05 February 2015

בסוף שנות ה- 90, כשיצאה לשוק מכונת ה-SEMVision הראשונה לגילוי אוטמטי של פגמים על פרוסות סיליקון, גודל קריטי מינימלי של פגם (Defect) עמד על כמה מאות ננומטרים. כיום, עם המשך המיזעור של המעגלים החשמליים על שבבי הסיליקון, הגודל הקריטי כבר נושק ל-10 ננומטר! תהליך מיזעור זה מגדיל באופן משמעותי את האתגרים הניצבים בפני מכונת ה-SEM הנדרשת לגלות את אותם פגמים.

לקריאת הבלוג המלא

Last modified on Thursday, 05 February 2015 08:36